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光柵尺精密度概念


光柵尺精密度概念
**度(Precision)是指使用同種備用樣品進(jìn)行重復(fù)測(cè)定所得到的結(jié)果之間的重現(xiàn)性。測(cè)量**度(也常簡(jiǎn)稱精度)高,是指偶然誤差與系統(tǒng)誤差都比較小,這時(shí)測(cè)量數(shù) 據(jù)比較集中在真值附近。雖然**度高可說(shuō)明準(zhǔn)確度高,但**的結(jié)果也可能是不準(zhǔn)確的。誤差是準(zhǔn)確度的表示,是實(shí)測(cè)值與真實(shí)值偏離程度,而偏差是精密度的表示,是平行測(cè)量間的相異程度。
  
準(zhǔn)確度表示測(cè)量結(jié)果的正確性,精密度表示測(cè)量結(jié)果的重復(fù)性和重現(xiàn)性,精密度是準(zhǔn)確度的前提條件。
普通意義的分辨率(resolution)就是屏幕圖像的精密度,是指顯示器所能顯示的像素的多少。對(duì)于光柵尺而言是指可以測(cè)量的*小單位。


 

對(duì)于傳感器的分辨率與精度的理解,

可以拿千分尺為例,
分辨率代表千分尺
*多可以讀到小數(shù)點(diǎn)后幾位,但精度還與尺子的加工精度,測(cè)量方法有關(guān)系。
  
同樣的,在光柵尺的使用中,分辨率與精度是完全不同的兩個(gè)概念。
 
光柵尺的分辨率,是指光柵尺可讀取并輸出的*小長(zhǎng)度變化,對(duì)應(yīng)的參數(shù)有:每毫米光柵刻線數(shù)、脈沖數(shù)、細(xì)分等。比如50線光柵和100線光柵在同等條件下分辨率就不一樣,同等的50線光柵如果細(xì)分方法不一樣分辨率也會(huì)不一樣。
  
光柵尺的精度,是指光柵尺輸出的信號(hào)數(shù)據(jù)對(duì)測(cè)量的真實(shí)長(zhǎng)度度的準(zhǔn)確度,對(duì)應(yīng)的參數(shù)是微米(μm)、納米(nm)。

目前國(guó)內(nèi)光柵尺分辨率一般有5μm、1μm、0.5μm、0.2μm、0.1μm。那么這些分辨率是怎么得來(lái)的呢?
以每毫米50線光柵為例,經(jīng)過(guò)4細(xì)分,就能得到很簡(jiǎn)單的5μm的分辨率,而不用采用電子細(xì)分,這也是目前國(guó)內(nèi)機(jī)床尺的多數(shù)工藝,至于高分辨率的光柵尺,就必須采用電子細(xì)分技術(shù),增加插補(bǔ)細(xì)分器才能得到。高分辨率光柵尺一般應(yīng)用于儀器儀表如視頻儀、工具顯微鏡、CNC加工中心等。

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